第141章思路放开,想干就干
1987年10月12日,101所芯能光刻机厂迎来了三名特别的客人。
左洋,顾仁达,丁邦开,三名在德州仪器芯片加工厂工作的湾岛人。
东升船业付了钱,他们三个人只需要在这里呆一个月。
赵国庆亲自接待了他们,还有何振华教授,卢怡榕总师,王丽嘉,刘成敏,吕金超,水泉祥几个芯能光科机厂的骨干。
小赵老师期待值很高,特别是听到左洋说德州仪器,已经攻克八百纳米制造工艺时。
“德州仪器用的是什么型号的光刻机?用的什么光源?”
左洋说:“用的是尼康NSR-120步进式扫描光刻机,光源还是用的高压汞灯的i线,ASML生产PA2000厂里也有两台,德州仪器去年还买了两台GCA公司的激光扫描光刻机,可以很轻松的实现800纳米制程!”
激光这个词让赵国庆很是敏感,他问道:“用的什么激光?”
丁邦开摇摇头说:“我们只是教你们使用PA2000光刻机的,其他的,抱歉!”
好吧,那就是钱没给够,一人加了两万美元,赶上他们好几个月的收入,自然畅所欲言了。
左洋说:“246纳米的紫光激光机,至于是什么样的激光器,就不知道了,反正用这台光刻机,我们掩膜版缝距可以缩小一倍。”
光电雷达总师卢怡榕总师对赵国庆说:“赵所长,他们的激光器应该是用的氟化氪准分子激光器,我们所现在就在研究,只不过目前的技术,发射的激光功率还不够!”
激光产生的条件,需要形成粒子数反转。那么当粒子数反转超过一定值后,就会形成振荡,产生激光。
当激光发射以后,上能级粒子数就消耗掉了,所以振荡就停止了,直到下一次粒子数累积后再反转。这也就是为什么普通激光器峰值功率不能提高的原因。
怎么提高激光的功率,他脑子里的方法可不止一种,调Q技术,锁模技术,光学参量放大技术。
本来想绕过氟化氪紫外激光,还有氟化氩深紫外线准分子激光,直接上x光光源的。
小赵老师发现自己想多了,全世界在光源这一块最强的美利坚,他们也没办法制造一台ASML深紫外光刻机,若是想要商用话,需要多方面的突破,紧紧依靠光源肯定解决不了。
而且x光光源需要的技术难度也不小,开发技术上更成熟的深紫外激光器,还是有必要的。
看来这些技术路线还是要走一遍。
赵国庆对卢怡榕说:“紫外线、深紫外线激光光源下一步将是101所重点项目,还要加入极紫外光项目的研究!”
卢怡榕笑了,能被101所升级到重点项目的,无论资金还是人员将受到极大的倾斜,不过?
卢怡榕问道:“赵
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